Dhyana 9KTDI Pro
高速 TDI-sCMOS 相机
Dhyana 9KTDI Pro 系列背照式 TDI 相机基于先进的 sCMOS 背照式减薄和 TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180 nm 紫外到 1100 nm 近红外宽光谱，有效提升紫外 TDI 线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
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600 KHz@ 9K
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256 级 TDI
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180 nm - 1100 nm 光谱范围
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风冷／水冷 深度制冷
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QSFP+ 数据接口
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产品参数
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产品优势
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相关产品
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典型应用
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资源下载
产品参数
品名 |
Dhyana 9KTDI Pro |
型号 |
D9KTDI Pro（另UV版本，详见规格书） |
传感器类型 |
BSI sCMOS TDI |
彩色 / 黑白 |
黑白 |
快门类型 |
全局 |
光谱范围 |
180 nm - 1100 nm |
量子效率 |
82% |
像素尺寸 |
5 μm x 5 μm |
分辨率 |
9072（H） x 256（V） |
对角线尺寸 |
45.4 mm |
读出噪声 |
6.2 e- |
最大帧率/行频 |
600 KHz |
暗电流 |
/ |
动态范围 |
68 dB |
满阱容量 |
14 Ke- |
制冷方式 |
风冷，水冷 |
制冷温度 |
低于水温 35℃ |
数据接口 |
QSFP+ |
* 参数如有更新，以官方技术规格书或销售书面答复为准
产品优势
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180 nm-1100 nm 宽光谱
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖 180 nm - 1100 nm 区域。256 级 TDI 技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm 等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
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600 kHz @ 9K 超高速线扫
Dhyana 9KTDI Pro 配备 CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的 54 倍，显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro 的相机行频最高可达 9K @ 600 kHz，为行业提供快速的多级 TDI 线扫描解决方案。
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稳定可靠制冷降噪技术
高端挑战性检测应用中，对缺陷的检测要求非常高，即使是 1~2DN 的灰阶抖动都会影响检测结果。鑫图的制冷技术经过市场的长期验证，不仅能够对感光芯片实行精准的低温控制，还能使相机在长时间工作中保持 ±0.5℃ 恒定状态。如图所示，鑫图相机制冷后具有更均一的成像背景和更低的噪声水平，可以为高精度缺陷检测提供更精准可靠的数据支撑。
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