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大面板检测用于显示面板的缺陷复检与微观分析,涵盖OLED、Mini/Micro LED等新型显示。系统需在大视野下保持高分辨率,相机要求大靶面、高像素、低噪声,兼顾帧率以满足产线节拍。
高速 TDI-sCMOS 相机
光谱范围:180 nm-1100 nm
QE:94.2%
像元:5 μm x 5 μm
分辨率:16416(H)x 256(V)
分辨率:8208(H)x 256(V)
光谱范围:180 nm - 1100 nm
QE:82%
分辨率:9072(H)x 256(V)
高速高分辨率 sCMOS 相机
光谱范围:300 nm - 1100 nm
QE:63%
像元:4.5 μm x 4.5 μm
分辨率:5120(H)x 4096(V)
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