26/09/08激光技术已成为半导体先进制造中的关键工艺支撑。随着晶圆制造、精密加工及检测环节对激光控制精度要求不断提升，传统光束质量分析方案在测量精度、定量分析能力及多波段适配方面面临新的挑战。如何实现激光光场信息的精准获取与量化评价，成为提升设备稳定性与工艺一致性的关键需求。
鑫图XT系列光束质量分析仪，赋能激光系统高精度光束测量
基于科学成像领域长期积累的定量分析技术，以及对半导体检测场景的深入理解，鑫图联合产业伙伴开展光束质量分析方案开发，正式推出XT系列光束质量分析仪。
XT系列融合鑫图光子测量及系统集成能力，面向激光系统提供从光束信息采集、分析到定量评价的一体化解决方案，助力先进制造领域实现更精准、更可靠的激光质量监控。
一次覆盖UV至LWIR，构建宽光谱激光测量能力
XT系列光束质量分析仪采用多产品协同布局，本次一共推出3款机型，形成 240 nm 至 14 μm 的宽光谱激光分析能力。
其中，XT105BP 针对 248 nm、266nm 等紫外激光测量优化，XT101BP 覆盖 400–1100 nm 可见光至近红外波段，XT102BP 支持 8–14 μm 长波红外测量，形成从紫外到长波红外应用波段的产品布局。
科学定量成像能力提升激光质量评价准确性
区别于传统光斑观测方案，XT系列依托鑫图科学成像与光子测量技术积累，通过高精度图像采集、光子响应校准及定量分析算法，实现对激光光斑形态、能量分布及M²等光束质量参数的精准测量，光束宽度测量精度优于±2%，显著优于常规工业级光束分析仪。
基于科学级定量测量能力，XT系列可帮助用户更加准确地评估激光系统性能，提升光束调试、优化及质量控制效率。
深度协同开发能力，加速量检测设备开发与应用部署
面向半导体量检测设备对高集成、高稳定性及快速部署的需求，XT系列依托鑫图系统级协同开发能力，针对设备的空间布局、数据接口及软件功能进行系统性适配优化。
XT系列最小机型尺寸仅为 29 mm × 29 mm × 13.5 mm，可适配半导体设备狭小光路空间；同时支持标准化通信接口，并提供专业光束分析软件平台，加速设备开发与应用部署。
典型应用场景
| 半导体曝光光源系统 |
| 半导体量检测系统 |
| 精密激光加工系统 |
| 通用光源检测标定 |
