随着先进制程推进、封装结构复杂化以及大尺寸基板应用发展，半导体检测正从单一缺陷识别向高精度、高效率、多场景协同演进。单一相机性能已难以满足不同检测环节的差异化需求。
Gemini 8KTDI 平台
1MHz@8K高性能TDI相机，满足前道检测极限性能需求
Gemini 8KTDI 高性能TDI相机系列，通过 1MHz 高速采集能力、以及精密热管理，实现高速条件下的稳定高信噪比输出，为前道先进制程提供高速、高信噪比成像能力支撑。
500KHz@8K紧凑型TDI相机，面向后道规模部署优化
Gemini 8KTDI LT 紧凑型TDI相机系列，采用自然散热/风冷结构替代风水冷一体化系统，实现体积缩小 64%、重量减轻 75%、功耗降低 50%，为后道检测设备规模化量产部署提供更高效、更简洁、更低成本的成像解决方案。
500KHz@16K超宽幅TDI相机，提升大幅面检测效率
Gemini 16KTDI 超宽幅 TDI 相机系列，凭借更大幅面单次扫描能力，可减少多相机拼接需求，从而降低设备光机结构与算法复杂度，提升检测吞吐效率、一致性及系统可靠性。
用一套已被验证的成熟技术体系，筑牢中国半导体检测的核心能力底座
Gemini TDI 标准化平台，是鑫图多年 TDI 技术积累的系统性释放，也是与产业伙伴持续协同创新的共同成果。未来，鑫图将持续以系统级成像解决方案能力，服务中国半导体产业发展，携手产业伙伴，共筑中国半导体检测技术新高地。
鑫图 Gemini TDI 标准化平台即将亮相无锡·第十四届半导体设备材料及核心部件展（2026年8月31-9月2日），欢迎莅临鑫图展台 C1-118 交流体验，共探 TDI 成像技术的多元应用可能。
26/08/20
