Dhyana 9KTDI

高速TDI-sCMOS相机

  • 510 kHz @ 9K
  • 256 级TDI
  • 180 nm ~ 1100 nm
  • 风冷/水冷
  • CoaXPress 2.0
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产品介绍

Dhyana 9KTDI(简称:9KTDI)背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术,采用可靠稳定的制冷封装技术,覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱,有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力,旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。

  • 180nm-1100nm宽光谱

    Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术,已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外(193nm/266nm/355nm等波段)、可见光、近红外等弱光成像信噪比,提高设备检测精度。

    180nm-1100nm宽光谱
  • 510kHz @ 9K 超高速线扫

    Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口,支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频最高可达9K @ 510 kHz,数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍,背照式 CCD-TDI 相机的46倍,可大幅提高设备检测效率。

    510kHz @ 9K 超高速线扫
  • 先进制冷降噪技术

    相机高速运行时产生的大量热量,不仅会影响成像质量,还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术,确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态,降低设备误检率。

    先进制冷降噪技术

技术参数 >

  • 型号: Dhyana 9KTDI
  • 传感器类型: BSI sCMOS TDI
  • 传感器型号: Gpixel GLT5009BSI
  • 量子效率: 38 % @ 266 nm,51% @ 355 nm,82 % @ 550 nm,38 % @ 800 nm
  • 彩色 / 黑白: 黑白
  • 对角线尺寸: 45.4 mm
  • 有效面积: 45.36 mm x 1.28 mm
  • 分辨率: 9072 (H) x 256 (V)
  • 像素尺寸: 5 μm x 5 μm
  • 操作模式: TDI, Area
  • TDI 级数: 4, 8, 16, 32, 64, 128, 256
  • 扫描方向: 正向,反向,触发控制
  • 电荷转移效率: ≥ 0.99993
  • 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
  • 满阱容量: 典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
  • 动态范围: 典型值:68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
  • 最大线速: 299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
  • 读出噪声: 典型值:7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
  • 暗信号不均匀性: 典型值:1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
  • 光响应不均匀性: 典型值:0.30%
  • 制冷方式: 风冷,水冷,制冷速度 5 ℃ / min
  • 制冷温度: 低于环境温度 35 ℃
  • Binning: 1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8
  • ROI: 支持
  • 触发模式: 触发输入, 扫描方向输入
  • 触发输出信号: Strobe out
  • 触发接口: Hirose, HR10A-7R-4S
  • 时间戳精度: 8 ns
  • 模拟增益: x2 ~ x8, 步进 0.5
  • 数字增益: x0.5 ~ x10,步进 1
  • 数据接口: CoaxPress 2.0 ( CXP-12 )
  • 光学接口: M72 / 用户可定制
  • 电源: 12 V / 8 A
  • 功耗: < 60 W
  • 相机尺寸: 86 mm x 86 mm x 109 mm
  • 重量: 1100 g
  • 软件: Samplepro, Matlab
  • SDK: 支持GenICam标准
  • 操作系统: Windows, Linux
  • 操作环境: 工作温度:温度 0~40 °C, 湿度 0~85%
    储藏温度:温度 0~60 °C, 湿度 0~90 %
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应用方向 >

资源下载 >

  •  Dhyana 9KTDI 技术规格书

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  • Dhyana 9KTDI 结构图纸

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  • Dhyana 9KTDI 用户手册

    Dhyana 9KTDI 用户手册

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  • 插件-MATLAB

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  • 软件 - SamplePro

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  • 驱动 - CXP(KAYA)数据采集卡

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    • USB 3.0

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