Dhyana 9KTDI
高速TDI-sCMOS相机
- 510 kHz @ 9K
- 256 级TDI
- 180 nm ~ 1100 nm
- 风冷／水冷
- CoaXPress 2.0
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产品介绍
Dhyana 9KTDI（简称：9KTDI）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
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180nm-1100nm宽光谱
Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
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510kHz @ 9K 超高速线扫
Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频最高可达9K @ 510 kHz，数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍，背照式 CCD-TDI 相机的46倍，可大幅提高设备检测效率。
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先进制冷降噪技术
相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。
技术参数 >
- 型号: Dhyana 9KTDI
- 传感器类型: BSI sCMOS TDI
- 传感器型号: Gpixel GLT5009BSI
- 量子效率: 38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
- 彩色 / 黑白: 黑白
- 对角线尺寸: 45.4 mm
- 有效面积: 45.36 mm x 1.28 mm
- 分辨率: 9072 (H) x 256 (V)
- 像素尺寸: 5 μm x 5 μm
- 操作模式: TDI, Area
- TDI 级数: 4, 8, 16, 32, 64, 128, 256
- 扫描方向: 正向，反向，触发控制
- 电荷转移效率: ≥ 0.99993
- 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
- 满阱容量: 典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
- 动态范围: 典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
- 最大线速: 299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
- 读出噪声: 典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
- 暗信号不均匀性: 典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
- 光响应不均匀性: 典型值：0.30%
- 制冷方式: 风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
- 制冷温度: 低于环境温度 35 ℃
- Binning: 1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8
- ROI: 支持
- 触发模式: 触发输入, 扫描方向输入
- 触发输出信号: Strobe out
- 触发接口: Hirose, HR10A-7R-4S
- 时间戳精度: 8 ns
- 模拟增益: x2 ~ x8, 步进 0.5
- 数字增益: x0.5 ~ x10，步进 1
- 数据接口: CoaxPress 2.0 ( CXP-12 )
- 光学接口: M72 / 用户可定制
- 电源: 12 V / 8 A
- 功耗: < 60 W
- 相机尺寸: 86 mm x 86 mm x 109 mm
- 重量: 1100 g
- 软件: Samplepro, Matlab
- SDK: 支持GenICam标准
- 操作系统: Windows, Linux
- 操作环境: 温度 0~40 °C, 湿度 0~85%
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应用方向 >
资源下载 >
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Dhyana 9KTDI 技术规格书
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Dhyana 9KTDI 结构图纸
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Dhyana 9KTDI 用户手册
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插件-MATLAB
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软件 - SamplePro
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驱动 - CXP（KAYA)数据采集卡
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